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該裝置的工藝流程為：預處理—吸附濃縮—脫附—催化燃燒—催化燃燒—催化燃燒—催化燃燒。在催化凈化器中設置了加熱室，啟動加熱裝置，進入內部循環。當熱氣源達到有機物90-110度時，有機物就會從活性炭中揮發出來，進入催化室進行催化分解，形成水、二氧化碳，并釋放能量。當能量被再次進入吸附床脫附時，此時加熱器完全停止工作，有機廢氣在催化燃燒室中保持自燃，尾氣再生，循環使用，直至有機物完全從活性炭內部分離，到催化室分解。對活性碳進行再生，對有機物進行分解處理。廢氣處理裝置可根據廢氣排放量、風速、廢氣濃度等靈活配置，廢氣處理和凈化效率高，安裝維修簡便。

用活性碳催化燃燒設備脫附，啟動催化燃燒裝置預熱室電源，預熱空氣，預加熱過的氣體通過混合箱內并進入吸附盒，加熱箱內活性炭所吸附的溶劑即會揮發，通過風機將溶劑引入催化燃燒室燃燒，形成諸如CO2和H2O蒸氣的熱風；熱風一部分返回到活性炭吸附盒中繼續加熱活性炭，另一部分熱風則排空，活性炭在熱空氣內循環多次。